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無塵潔凈室技術(shù)應(yīng)用

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無塵潔凈室技術(shù)應(yīng)用

發(fā)布日期：2015-03-12 作者： 點擊：

無塵潔凈室的氣流速度/換氣次數(shù)，一直是潔凈室設(shè)計中受到關(guān)注的問題,，隨著潔凈室污染源的控制效果增加及末級過濾器效率的提高等,，對有關(guān)規(guī)范、導則等提出的推薦或參考值是否偏于保守,，已有不少討論;FFU在應(yīng)用中人們擔心的噪音,、損壞維修等問題已在實踐中得到解決，隨著FFU的不斷改進,，對是否采用FFU回風系統(tǒng)也是個熱點：懸浮分子污染(AMC)的控制在微電子及IC工業(yè)中已日益提到日程上來,，受到關(guān)注。以下對這些問題的情況分別作歸納和分析,。

無塵潔凈室內(nèi)一定潔凈度下氣流速度的確定,，隨潔凈室用途等具體情況而異，它不僅受室內(nèi)發(fā)塵量及過濾器效率還受其他因素影響,，就工業(yè)潔凈室而言,，影響潔凈度及選擇氣流速度的因素主要是：

(1)室內(nèi)污染源：建筑物組件、人員數(shù)量及操作活動,、工藝設(shè)備,、工藝材料及工藝加工本身等都是塵粒釋放源，根據(jù)具體情況而異,，變化很大;

(2)室內(nèi)氣流流型及分布：單向流要求均勻,、平等的流線，但會受到工藝設(shè)備布置和位置變動及人員活動情況等的干擾形成局部渦流;而非單向流要求充混合,，避免死角及溫度分層;

無塵潔凈室.jpg

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關(guān)鍵詞：無塵潔凈室,凈化工程,凈化車間

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