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無(wú)塵車間,,言簡(jiǎn)意賅,簡(jiǎn)單易懂,,就是指將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子,、有害空氣、細(xì)菌等之污染物排除,并將室內(nèi)之溫度,、潔凈度,、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布,、噪音振動(dòng)及照明,、靜電控制在某一需求范圍內(nèi),而所給予特別設(shè)計(jì)之房間,。大致分類這么幾大類,,下面,跟隨小編一起了解一下吧:
1.亂流式:
空氣由空調(diào)箱經(jīng)風(fēng)管與無(wú)塵車間內(nèi)之空氣過(guò)濾器進(jìn)入無(wú)塵車間,,并由無(wú)塵車間兩側(cè)隔間墻板或高架地板回風(fēng),。氣流非直線型運(yùn)動(dòng)而呈不規(guī)則之亂流或渦流狀態(tài)。此型式適用于無(wú)塵車間等級(jí)1,000-100,000級(jí),。
優(yōu)點(diǎn):構(gòu)造簡(jiǎn)單,、系統(tǒng)建造成本,無(wú)塵車間之?dāng)U充比較容易,,在某些特殊用途場(chǎng)所,,可并用無(wú)塵工作臺(tái),提高無(wú)塵車間等級(jí),。
缺點(diǎn):亂流造成的微塵粒子于室內(nèi)空間飄浮不易排出,,易污染制程產(chǎn)品。另外若系統(tǒng)停止運(yùn)轉(zhuǎn)再激活,,欲達(dá)需求之潔凈度,,往往須耗時(shí)相當(dāng)長(zhǎng)一段時(shí)間。
2.層流式:
層流式空氣氣流運(yùn)動(dòng)成一均勻之直線形,,空氣由覆蓋全部過(guò)濾器進(jìn)入室內(nèi),,并由高架地板或兩側(cè)隔墻板回風(fēng),此型式適用于無(wú)塵車間等級(jí)需定較高之環(huán)境使用,,一般其無(wú)塵車間等級(jí)為Class1~100,。其型式可分為二種:
(1)水平層流式:水平式空氣自過(guò)濾器單方向吹出,由對(duì)邊墻壁之回風(fēng)系統(tǒng)回風(fēng),,塵埃隨風(fēng)向排出室外,,一般在下流側(cè)污染較嚴(yán)重,。
優(yōu)點(diǎn):構(gòu)造簡(jiǎn)單,,運(yùn)轉(zhuǎn)后短時(shí)間內(nèi)即可變成穩(wěn)定。
缺點(diǎn):建造費(fèi)用比亂流式高,,室內(nèi)空間不易擴(kuò)充,。
(2)垂直層流式:房間天花板以ULPA過(guò)濾器覆蓋,空氣由上往下吹,可得較高之潔凈度,,在制程中或工作人員所產(chǎn)生的塵??煽焖倥懦鍪彝舛粫?huì)影響其它工作區(qū)域。
優(yōu)點(diǎn):管理容易,,運(yùn)轉(zhuǎn)開(kāi)始短時(shí)間內(nèi)即可達(dá)穩(wěn)定狀態(tài),,不易為作業(yè)狀態(tài)或作業(yè)人員所影響。
缺點(diǎn):構(gòu)造費(fèi)用較高,,彈性運(yùn)用空間困難,,天花板之吊架相當(dāng)占空間,維修更換過(guò)濾器較麻煩,。
3.復(fù)合式:
復(fù)合式為將亂流式及層流式予以復(fù)合或并用,,可提供局部超潔凈之空氣。
(1)潔凈隧道:以HEPA或ULPA過(guò)濾器將制程區(qū)域或工作區(qū)域全部覆蓋使?jié)崈舳鹊燃?jí)提高至10級(jí)以上,,可節(jié)省安裝運(yùn)轉(zhuǎn)費(fèi)用,。
此型式需將作業(yè)人員之工作區(qū)與產(chǎn)品和機(jī)器維修予以隔離,以避免機(jī)器維修時(shí)影響了工作及品質(zhì),,ULSI制程大都采用此種型式,。
潔凈隧道另有二項(xiàng)優(yōu)點(diǎn):A.彈性擴(kuò)充容易;B.維修設(shè)備時(shí)可在維修區(qū)輕易執(zhí)行,。
(2)潔凈管道:將產(chǎn)品流程經(jīng)過(guò)的自動(dòng)生產(chǎn)線包圍并凈化處理,,將潔凈度等級(jí)提至100級(jí)以上。因產(chǎn)品和作業(yè)員及發(fā)塵環(huán)境相互隔離,,少量之送風(fēng)即可得到良好之潔凈度,,可節(jié)省能源,不需人工的自動(dòng)化生產(chǎn)線為適宜使用,。
(3)并裝局部無(wú)塵車間:將無(wú)塵車間等級(jí)10,000~100,000之亂流無(wú)塵車間內(nèi)之產(chǎn)品制程區(qū)的潔凈度等級(jí)提高為10~1000級(jí)以上,,以為生產(chǎn)之用;潔凈工作臺(tái),、潔凈工作棚,、潔凈風(fēng)柜即屬此類。潔凈工作臺(tái):等級(jí)Class?1~100級(jí),。
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