無塵車間控制溫濕度的重要性

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無塵車間控制溫濕度的重要性

發(fā)布日期：2019-08-24 作者：點擊：

無塵車間的溫度和濕度主要根據(jù)生產(chǎn)工藝要求確定,。在滿足生產(chǎn)工藝的前提下,，首先要考慮人的舒適性,。隨著空氣潔凈度要求的提高,，工藝對溫度和濕度的要求越來越高,，須滿足溫度和濕度的要求。例如,，在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光過程中,，溫度上升會引起線性膨脹，同事要求濕度值一般較低,。

對于大多數(shù)清潔空間,，為了防止外部污染的侵入，須保持內部壓力（靜壓）高于外部壓力（靜壓）,。壓差維護一般應遵循以下原則：

1,、潔凈度高的空間壓力高于潔凈度低的相鄰空間壓力。

2,、潔凈室之間的門應向潔凈度高的房間開啟,。

3,、潔凈空間的壓力高于非潔凈空間,。

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凈化系統(tǒng)