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無塵室中不論外在之空氣條件如何變化,,其室內(nèi)均能俱有維持原先所設(shè)定要求之潔凈度,、溫濕度及壓力等性能之特性,。無塵室**主要之作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度,使產(chǎn)品能在一個良好之環(huán)境空間中生產(chǎn),、制造,,此空間我們稱之為無塵室。按照慣例,,無塵凈化無 級別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標(biāo)準(zhǔn)的粒子數(shù)量來規(guī)定,。也是說所謂無塵并非全部沒有一點灰塵,而是控制在一個非常微量的單位上,。當(dāng)然這個標(biāo)準(zhǔn)中符合灰塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒相對于我們常見的灰塵已經(jīng)是小的微乎其微,,但是對于光學(xué)構(gòu)造而言,哪怕是一點點的灰塵都會產(chǎn)生非常大的負面影響,,所以在光學(xué)構(gòu)造產(chǎn)品的生產(chǎn)上,,無塵是必然的要求。如表所示,,每立方米將小于0.5微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個以下,,達到了國際無塵標(biāo)準(zhǔn)的A級。目前應(yīng)用在芯片級生產(chǎn)加工的無塵標(biāo)準(zhǔn)對于灰塵的要求高于A級,,這樣的高標(biāo)主要被應(yīng)用在一些等級較高芯片生產(chǎn)上,。微塵數(shù)量被嚴(yán)格控制在每立方米1000個以內(nèi),這也是業(yè)內(nèi)俗稱的1K級別,。